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全自動晶圓刻蝕機(jī)

單價: 350000.00元/臺
發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 天內(nèi)發(fā)貨
所在地: 廣東 深圳
有效期至: 長期有效
發(fā)布時間: 2023-12-15 13:26
最后更新: 2023-12-15 13:26
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全自動晶圓刻蝕機(jī)在半導(dǎo)體刻蝕機(jī)臺對晶圓進(jìn)行干法刻蝕的過程中,由于晶圓邊緣的er(etch rate,刻蝕速率)比中心處的er快,為了**晶圓刻蝕的均勻性,會在機(jī)臺的內(nèi)部設(shè)置聚焦環(huán)(focus ring),聚焦環(huán)被安裝在反應(yīng)離子蝕刻室中晶片周圍的平臺上,以保護(hù)晶圓的邊緣,降低晶圓邊緣區(qū)域的刻蝕速率,**晶圓表面刻蝕的均勻性,如圖1所示出的刻蝕機(jī)臺內(nèi)部腔體結(jié)構(gòu)中聚焦環(huán)1的位置,注入氣體4經(jīng)過分流器3注入腔體中對晶圓2進(jìn)行刻蝕制程的聚焦環(huán)1也隨之損耗,晶圓2邊緣刻蝕速率較快,同樣地,加快了聚焦環(huán)1的消耗,使用一段時間后,需要機(jī)臺及時進(jìn)行pm,以更換新的聚焦環(huán),這樣一來縮短了mtbc,影響了機(jī)臺的產(chǎn)能。

全自動晶圓刻蝕機(jī)特點(diǎn):

1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm

2.電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金    功率電極:1    接地電極:1

3. 電極尺寸:230mm *230mm(*大可處理產(chǎn)品尺寸,可處理8寸晶圓)

4. 全自動晶圓刻蝕機(jī)頻率:13.56MHz

5. 功率:0-300W連續(xù)可調(diào),可在設(shè)備運(yùn)行中隨時調(diào)整參數(shù)。

6. 氣體控制:MFC質(zhì)量**計, 0-500ml 2路氣體

7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)(SMC)

8. 全自動晶圓刻蝕機(jī)控制方式:7寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式

9. 控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態(tài)

10.設(shè)備規(guī)格尺寸:長600mm 寬600mm 高700mm

11. 全自動晶圓刻蝕機(jī)電極板配置:配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調(diào)整,可按需求調(diào)整極板位置

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